“Les lois de la physique sont les mêmes en Chine”. Début 2023, Peter Wennink, alors directeur général d’ASML, tirait la sonnette d’alarme: les restrictions d’exportation imposées par les pays occidentaux allaient pousser Pékin à “redoubler d’efforts” pour développer ses propres technologies, en particulier les machines de lithographie les plus avancées, pour l’instant uniquement commercialisées par le groupe néerlandais, et indispensables à la production de puces de pointe. Trois ans plus tard, cette prédiction commence à se concrétiser.
Selon l’agence Reuters, un premier prototype de système de lithographie par rayonnement ultraviolet extrême (EUV) a été mis au point début 2025 par un laboratoire basé à Shenzhen. Celui-ci regroupe une centaine d’ingénieurs et de chercheurs, dont d’anciens salariés chinois d’ASML. Dans le plus grand secret, ces équipes se seraient livrées à un important travail de rétro-ingénierie, tout en récupérant des pièces détachées d’anciens modèles. Des tests sont déjà en cours, mais la production industrielle de puces n’est pas attendue avant 2028, voire 2030.
Soutien financier de l’État
Si les défis restent nombreux, ce premier prototype constitue une percée majeure pour la Chine, ciblée depuis l’automne 2022 par de lourdes sanctions américaines lui interdisant d’acheter les puces les plus performantes – notamment les dernières cartes graphiques dédiées à l’intelligence artificielle générative –, ainsi que les équipements nécessaires à leur production. Sous la pression de Washington, les Pays-Bas ont également renforcé leurs restrictions il y a trois ans, limitant encore davantage les ventes des machines d’ASML aux fondeurs chinois.
Depuis, des efforts colossaux ont été engagés par l’industrie chinoise, avec le soutien financier de l’État. L’objectif de Pékin n’est pas seulement de fabriquer les puces que le pays ne peut plus importer, mais aussi de remonter l’ensemble de la chaîne, en produisant les nécessaires galettes de silicium, gaz industriels, produits chimiques et systèmes de lithographie. Pour ces derniers, 99% du parc installé en Chine provient d’ASML et de ses rivaux japonais Canon et Nikon. Il s’agit exclusivement d’équipements à ultraviolet profond (DUV), nettement moins avancés que les EUV.
Mur technologique
Conçue dès 2001 mais véritablement opérationnelle à partir de 2018, la technologie EUV permet de réaliser les gravures les plus fines, en dessous de 7 nanomètres. ASML reste la seule entreprise au monde à la maîtriser. Son exportation vers la Chine a toujours été interdite. Ces systèmes sont utilisés par le grand fondeur taïwanais TSMC, qui parvient depuis 2024 à produire des puces en 2 nm, notamment pour les iPhone. Les derniers GPU de Nvidia, eux, sont gravés en 5 nm. À titre de comparaison, la machine chinoise la plus avancée ne permet pour l’instant que des gravures en 28 nm.
L’enjeu est colossal pour la Chine: sans accès à la lithographie EUV, ses ambitions se heurteront rapidement à un mur technologique. Ces trois dernières années, Huawei et son partenaire SMIC ont certes enregistré des avancées spectaculaires. En exploitant au maximum les équipements DUV à leur disposition, ils ont réussi à produire des puces 5G et des GPU dédiés à l’IA en 6 nm. Mais ceux-ci restent loin des performances des composants gravés par TSMC. Ainsi, les groupes chinois se ruent sur les GPU H200 de Nvidia, dont l’exportation vers la Chine vient d’être autorisée par les États-Unis.
Chaîne d’approvisionnement
Pour atteindre l’indépendance technologique dans la production de puces, la Chine ambitionne d’abord de concevoir ses propres machines DUV, destinées à remplacer les modèles les plus performants d’ASML, Canon et Nikon, désormais interdits à l’exportation vers le pays. La tâche s’annonce encore plus complexe pour les systèmes EUV. Selon Reuters, le prototype chinois reste “rudimentaire”, notamment parce que le laboratoire peine à se procurer ou à fabriquer les indispensables systèmes optiques, sur lesquels se reflète la lumière EUV, aujourd’hui fournis uniquement par le groupe allemand Zeiss.
Le défi est technologique, notamment pour atteindre des taux de rendement suffisamment élevés. Mais il sera aussi logistique: il faudra mettre en place une gigantesque chaîne d’approvisionnement. Pour fabriquer ses machines, ASML fait appel à plus de 5.000 sous-traitants, dont certains lui fournissent des composants de pointe qu’ils sont les seuls à produire. Sans compter la nécessité d’une main-d’œuvre ultra-qualifiée: chaque système requiert plusieurs mois d’assemblage. D’ici là, le groupe néerlandais mise sur une nouvelle technologie, qui devrait, à terme, permettre de graver en 1 nm.
Pour aller plus loin:
– ASML lance une machine à 350 millions pour graver les prochaines puces
– Dans l’IA, Huawei veut profiter d’un coup de pouce de… Washington
